减速机齿轮的最终热处理采用使零件变形较小的齿面高频淬火;高频淬火后得到的齿面具有高的强度、硬度、耐磨性和疲劳极限，而心部仍保持足够的塑性和韧性。
为减少减速机变形，齿面高频淬火应采用较低的淬火温度和较短的加热时间、均匀加热、缓慢冷却。